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大直径硅单晶及新型半导体材料项目效益评估报告
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大直径硅单晶及新型半导体材料项目效益评估报告
目录
TOC\h\z23945概论 3
11982一、建筑技术方案说明 3
9550(一)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目工程设计总体要求 3
2387(二)、建设方案 3
13161(三)、建筑工程建设指标 5
27815二、工艺技术分析 6
11423(一)、企业技术研发分析 6
13070(二)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目技术工艺简要分析 7
28785(三)、质量管理体系与标准 8
6950(四)、大直径硅单
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