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************************************************************3.激光干涉测量法由于激光具有良好的方向性、单色性和相干性等优点,采用激光器作为光源,以激光稳定的波长作基准,利用光波干涉原理实现大尺寸的精密测量是目前大尺寸测量中比较理想的方法。(1)单频激光干涉测长单频激光干涉仪是将同一激光器发出的光束,经分光镜后分成相同频率的参考光束和测量光束,它们分别经固定参考棱镜和随被测件移动的可动棱镜(图2-38)反射,而在分光面上重新产生干涉,相应的被测长度对应于干涉场的干涉条纹信号变化的次数,通过光电接受、转换和电路处理,求出相应被测长度的数值。其基本测量原理同迈克尔逊干涉仪。单频激光干涉仪一般没有专门的空气折射率测量装置,在进行大尺寸测量时,温度误差将对被测件的尺寸有较大影响,故对测量环境应有一定的要求,必要时应对上述影响进行修正。第64页,共75页,星期六,2024年,5月§2-6大尺寸的测量3、激光干涉测量法①用单频激光干涉仪测量大尺寸第65页,共75页,星期六,2024年,5月§2-6大尺寸的测量②双频激光干涉测长法多普勒效应实验证明,当光波接收装置相对光源作相对运动时,单位时间内接收装置所接受到的光波数(即频率f),将与光源实际发出的光波数量(频率f0)有所不同。这种现象称为光的多普勒效应。第66页,共75页,星期六,2024年,5月§2-6大尺寸的测量第67页,共75页,星期六,2024年,5月§2-6大尺寸的测量三、大尺寸的间接测量法(自学)1、辅助基面法2、弦高法3、围绕法4、用长杆规测量大孔直径5、用两杆三点法测量大尺寸6、对滚法7、经纬仪法第68页,共75页,星期六,2024年,5月§2-7微小尺寸的测量一、用激光衍射法测量金属细丝直径一般的钢丝直径常用电感测微仪以接触法进行测量,这种方法受测量力的影响很大,即使在测量力较小的情况下,其相对测量误差也是较大的,而且容易引起细丝的弯曲变形。此外,如测力过小,也由于测量不稳定而无法保证测量精度。近年来由于激光技术的发展,为测量细丝直径提供了新的测量原理和方法。第69页,共75页,星期六,2024年,5月夫琅和费衍射原理当光源和衍射场(即屏幕P)都距衍射物(小孔、狭缝等)无限远时的衍射称为夫琅和费衍射(或平行光衍射),实际上只要光源、屏幕离衍射物有足够大的距离部可认为是夫琅和费衍射。§2-7微小尺寸的测量第70页,共75页,星期六,2024年,5月如图所示,设被测细丝为?d,相当于狭缝。我们采用激光作为光源,由于其发散角很小,可认为是平行光,并将衍射屏幕放置离细丝较远处(譬如l>500mm),于衍射场P处即可获得一组明暗相间的衍射条纹,只要测得衍射条纹距屏幕中心的距离Sk,便可求得细丝直径。§2-7微小尺寸的测量第71页,共75页,星期六,2024年,5月§2-7微小尺寸的测量二、用激光能量法测量光纤直径第72页,共75页,星期六,2024年,5月§2-7微小尺寸的测量三、小球径的测量第73页,共75页,星期六,2024年,5月本章小结一、米定义的内容二、什么是长度量值传递?长度量值传递的实物有几种?三、量块的基本概念,四个基本性质、有关量块的几个名词术语四、量块的检定(平面度、中心长度。平面平行性五、线纹尺的检定六、轴类零件的测量(测量方法、误差计算)七、孔类零件的测量(测量方法)八、大尺寸的测量第74页,共75页,星期六,2024年,5月感谢大家观看第75页,共75页,星期六,2024年,5月****************************************§2-3线纹尺的检定(1)绝对检定法第32页,共75页,星期六,2024年,5月§2-3线纹尺的检定光电光波比长仪用于检定1m以下高精度的基准线纹尺和一等标准线纹尺的线纹尺。检定时的标准状态大气压为760mm汞高,湿度为50%-60%,温度为20摄氏度。仪器精度为。测量线纹尺的精度为。第33页,共75页,星期六,2024年,5月§2-3线纹尺的检定(2)相对检定法相对法主要用于二等以下线纹尺的检定。第34页,共75页,星期六,2024年,5月
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