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《微机电系统设计技术》教学大纲

课程编号英文名称：Micro-electro-mechanicalSystemDesignTechnology

学分：2

学时：总学时40学时，其中理论24学时，实践16学时

先修课程：制造技术基础、机械设计基础、传感与测试技术

课程类别：专业拓展课程

授课对象：机械电子工程专业学生

教学单位：机械与电气学院

修读学期：第6学期

一、课程描述和目标

微机电系统是工程技术领域的最重要发展方向之一，也是高新技术发展的前沿技术。是20世纪末、21世纪初兴起的工程科学前沿，是当前一个十分活跃的研究领域。它被广泛应用于机械制造工

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