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摘要:材料学的发展是推动人类进步的重要一环,而在近四十年来,在材料学中,透明导电薄膜的无疑是其中发展最迅猛的一个,在最初的时候,人们认为透明的物质一般是不导电的,而导电性能良好的物质,一般情况下,又是不透明的。随着透明导电薄膜的出现,打破了这一固有认知,在透明导电薄膜中CdO薄膜由于其成本低、载流子浓度高等优点,受到了科学家们的青睐,磁控溅射制备薄膜在薄膜领域有着广泛的应用,提升CdO基薄膜的性能对于薄膜研究有很大的作用。
在之前研究人员的成果下,介绍磁控溅射制备薄膜原理和制备CdO的过程,并试验在不同的制备条件下,CdO薄膜的导电率、透过率和成本。
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