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目次
前言……．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．……皿
1范罔·
2规1fi性引用文件…··
3定义必术语.…..……………..…......….....…·1
4获得SEM闯像的步骤…....…....……·2
5SEM图像的获取和图像内区域的边取...………….…·····································6
6评价方法……··…………………………····6
7检测报告............……·…·················…....…···················15
附录A（规范性附录）衬皮噪声比的详细说明…........…..……………·….…·17
附录B（规越性附录）傅里叶变换法（FT）详述........……···············…·21
附录c（规范性附录）对比梯度法（CG）详述……..…·35
附录D（规也性附录）微分法（DR）详述….…....……………·……….....…………·45
附录E（资料性附录）阁像消晰度评价的背底…………………....……·62
附录F（资料性附录〉各种评估方法的特点和运用性…………·········……·66
附录G（资抖性附录〉吁估闯像消晰度的测试样本制各方法…………...……………·69
附录II（资料性附录）测试报告实例
参考文献……．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．……73
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刚吕
4:标准使用翻译法号；同采用ISO!TS24597:2011Microbeamanalysis一Scanningelectronmicroscopy
Methodsofevaluatingimagcsharpness
为了便f使用，本标准做了下列编辑性修改：
一一将规范性引用文件111.Eil、米的“ISO16700:2004,Microbeamanalysis一－Scanningelcctron
microscopy-一一Guidelinesforcalibratingimagemagnffication”改为“GB/T277882011微＊分析tl描电
锐问像放火借书校惟导则OSO16700:2004,IDT)”;
一一将规范性引用文件山原米的“ISO/lEC17025:2005,Generalrequi
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