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工艺事故质量分析

一次清洗：

1．现象描述：

制绒后硅片厚度很薄在160um以下且硅片表面“小雨点”很多，导致硅片报废

原因分析：

此类事故发生时多在新配液时，主要原因是上一位员工在配氢氧化钾和硅酸钠后，由于

吃饭或其它原因把操作交给另外一位员工，后面的员工上岗后没有加异丙醇就直接上料，从

而造成事故。

事故总结：

新配液时，由于更换操作员而导致没有加异丙醇，出现工艺失控。建议新配液时有一位

员工独立完成。

2．现象描述：

配液过程中导致溶液溢流致设备和地面，使地面受损。

原因分析：

配液过程中，忘记关补水开关。

事故总结：

加强员工的责任心。

3．现象描述：

制绒过程中，偶尔出现整篮硅片表面“小雨点”很多，在二中心曾出现一篮硅片大半部

分硅片已经制绒，而上部的少部分硅片还没有制绒。

原因分析：

制绒槽制绒过程中等待上料的时间过长，导致异丙醇挥发过量，溶液中异丙醇含量少造

成的。二中心出现的少部分硅片还没有制绒，是由于制绒槽制绒过程中等待上料的时间过长，

造成液位低于液面而造成。

事故总结：

制绒过程中要注意观察工艺槽的液面，避免液位低于硅片上沿。如果制绒槽制绒过程等

待上料的时间过长，需适量多补加异丙醇，或者排液后重新配液。加强员工的责任心，注意

观察制绒过程中的异常情况。

4．其它：

配液过程中，加NaOH，HF，HCl方法不当，且没有佩带防护用具，使液体溅到衣服或

皮肤上。机械臂挂钩松动，提篮时花篮偏移导致翻篮。二线设备在手动打到自动时，若2

号机械臂在11号槽，且11号槽时间已经到时，按复位开关将会导致2号和3号机械臂相撞。

槽内的挡板螺丝松动，机械臂放篮时，花篮碰到挡板，导致花篮倾斜。

5．现象描述：

电池效率出现批量整体性降低。

原因分析：

将清洗工序的重新清洗后，再投产，效率恢复正常，可能存在的原因有：

检查花篮发现，花篮已经破损；喷淋槽槽盖中的活塞被腐蚀，有铁锈溶液调入喷淋槽中

污染了硅片。

总结：

重视和加强工艺设备卫生检查，提高员工的洁净度意识；对有铁制品的设备要格外小心，

避免因其破损而污染硅片。

6．现象描述：

检验后的硅片被重新放入原硅片盒内，和正常片一同转入扩散工序。

原因分析：

员工对硅片的洁净度认识不够，工艺卫生的培训和宣传力度不够。

总结：

重视工艺卫生培训，提高员工的洁净度意识。

7．现象描述：

甩干后的洁净硅片，长时间停留在清洗间内，没有及时转入扩散工序。

原因分析：

员工对空气的洁净度认识不够，认为空气对硅片表面的洁净度没有影响，工艺卫生的培

训和宣传力度不够。

总结：

重视工艺卫生培训，提高员工的洁净度意识。

8．其它：

槽内的挡板螺丝松动，机械臂放篮时，花篮碰到挡板，导致花篮倾斜压篮。甩干机的密

封圈脱落，导致不能甩干。甩干机内放入的片盒有碎片，甩干后会造成更多的碎片。甩干机

氮气管脱落，导致不能甩干。甩干机内的皮带脱落，导致不能甩干。

扩散：

1．事故现象:

方块电阻偏小

事故原因：

更换片源，由于炉管温度漂移，当前工艺已经不适用。设备故障，舟无法退出，舟在炉

管的滞留时间过长。环境温度变化，气流变化。

事故总结：

为了避免事故发生，更换片源时，必须先做少量的跟踪试验，调试好后方可批量生产，

工艺运行时，工序长必须密切注意设备运行情况，及时找工程人员维修，外围设施工作人员

尽量保障扩散间抽风、环境温度的稳定性。

4．事故现象：

方块电阻偏大

事故原因：

更换片源，由于炉管温度漂移，当前工艺已经不能使用。设备故障，石英门损坏或没有

关紧。环境温度变化，外围尾气抽风变化，气流不稳定。设备加热速度太慢，无法达到工艺

温度。炉管清洗后，设备没有安装到位。设备或软件故障，工艺工程中出现扩散小氮（三氯

氧磷）断气。

事故总结：

为了避免事故发生，应该在更换片源时，必须先做少量的跟踪试验，调试好方可批量生

产。工艺运行时，工序长必须密切注意设备云行情况，及时找工程人员维修。工序长必须密

切关注扩散间抽风与环境温度变化，及时反映给领班，同时外围设施工作人员尽量保障扩散

间抽风，环境温度的稳定性。

二次清洗：