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塑料工业第48卷第4期
166CHINAPLASTICSINDUSTRY2020年4月
基于PDMS ̄PMMA材料的微流控芯片等离子体
键合工艺研究∗
11ꎬ2ꎬ∗∗111
宋春辉ꎬ胡志刚ꎬ杜喆ꎬ祖向阳ꎬ宋克纳
(1.河南科技大学医学技术与工程学院ꎬ河南洛阳471003ꎻ2.河南省智能康复医疗机器人工程研究中心ꎬ河南洛阳471003)
摘要:为了提高聚二甲基硅氧烷(PDMS)盖片和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片的复合式微流控芯片键合的稳定性ꎬ
开展了微流控芯片等离子处理特性的时间因素的研究ꎮ利用红外光谱和扫描电镜对处理前后的PMMA进行表征ꎬ确定硅烷化等
离子方法的可行性ꎻ同时对PDMS、PMMA和硅烷化PMMA不同等离子处理时间的接触角及接触角恢复情况进行测量ꎬ采用正
交试验法得到了最大键合力所需的最佳等离子处理时间以及有效操作时域ꎬ研究结果为确定微流控芯片的等离子体键合工艺参
数提供借鉴ꎮ
关键词:聚二甲基硅氧烷ꎻ聚甲基丙烯酸甲酯ꎻ键合ꎻ接触角ꎻ处理时间
中图分类号:TQ316文献标识码:A文章编号:1005-5770(2020)04-0166-06
doi:103969/jissn1005-5770202004033开放科学(资源服务)标识码(OSID):
ResearchonPlasmaBondingTechnologyofMicrofluidicChipBased
onPDMS ̄PMMAMaterial
11ꎬ2111
SONGChun ̄huiꎬHUZhi ̄gangꎬDUZheꎬZUXiang ̄yangꎬSONGKe ̄na
(1.SchoolofMedicalTechnologyandEngineeringꎬHenanUniversityofScienceandTechnologyꎬLuoyang471003ꎬChinaꎻ
2.IntelligentRehabilitationMedicalRobotEngineeringResearchCenterInHenanꎬLuoyang471003ꎬChina)
Abstract:Inordertoimprovethestabilityofthebondingofthecompositemicrofluidicchipofthepolydimethylsiloxane(PDMS)
coversheetandthepolymethylmethacrylate(PMMA)substrateꎬthetimefactoroftheplasmaprocessingcharacteristicsofthe
microfluidicchipwasstudied.ThePMMAbeforeandaftertreatmentwascharacterizedbyinfraredspectroscopyandscanningelectron
microscopytodeterminethefeasibilityofsilanizedplasmamethod.Atthesametimeꎬthecontactanglesandcon
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