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多晶硅磁控溅射靶材项目安全评估报告
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多晶硅磁控溅射靶材项目安全评估报告
目录
TOC\o1-9概论 3
一、评价多晶硅磁控溅射靶材项目概述 3
(一)、被评价单位的基本情况 3
(二)、多晶硅磁控溅射靶材行业企业所在地的自然条件 4
(三)、企业选址及平面布置 5
(四)、生产工艺、装置、储存设施基本情况 7
(五)、建筑、公用工程 8
(六)、安全管理 9
(七)、关于事故应急救援预案的审定 10
二、环境评价 12
(一)、环境评价概述 12
(二)、评价多晶硅磁控溅射靶材项目概况 12
(三)、环评单位的基本情况 14
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