在 TFT-LCD_工艺制程简介.pdfVIP

Q/S

上海天马微电子有限公司企业标准

Q/S0001-2007

TFT工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称

版号：1.0总页数：23

制定部门：制造部生效日期：2007年4月28日

拟制：方永学2007-4-3

审核：向传义2007-4-3

标准化：吴乃亮2007-4-25

会签：颜建军朱希玲2007-4-20

蔡明宏2007-4-24凌志华2007-4-3

批准：安德浩2007-4-24

2007-04发布2007-04实施

上海天马微电子有限公司发布

上海天马微电子有限公司企业标准

TFT工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称

TIANMA

Q/S0001-2007第2页共23页

更改状态更改内容更改人更改日期

一．TFT工艺流程中英文标准名称

ArrayProcessFlow阵列段工艺流程

Unpacking拆包装

Input

Initialclean预备清洗

投料

Particlecount尘埃粒子测试

Cleanbeforedepo成膜前清洗

Gate（Mo/Alalloy)Filmdepo栅电极成膜

RSmeter电阻测量

MacroInspection宏观检查

CleanbeforePR涂胶前清洗

Prebake预烘

PRCoating光刻胶涂布

PRvacuumdry(VCD)光刻胶低压干燥

PRsoftbake前烘

Expose曝光

TitlerExpose/EdgeExpose打标/边缘曝光

GateDevelop显影

栅电极层PRhardbake