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半导体微电子专业英语单词
对于英语的学习来说,单词是重要的一部分,考生们必须认真背诵一些英语常用单词。下面是为大家送上的一些英语常用单词,希望对大家有所帮助。
1.aeptancetesting(WAT:waferaeptancetesting)
2.aeptor:受主,如B,掺入Si中需要承受电子
3.ACCESS:一个EDA(EngineeringDataAnalysis)系统
4.Acid:酸
5.Activedevice:有源器件,如MOSFET(非线性,可以对信号放大)
6.Alignmark(key):对位标记
7.Alloy:合金
8.Aluminum:铝
9.Ammonia:氨水
10.Ammoniumfluoride:NH4F
11.Ammoniumhydroxide:NH4OH
12.Amorphoussilicon:α-Si,非晶硅(不是多晶硅)
13.Analog:模拟的
14.Angstrom:A(1E-10m)埃
15.Anisotropic:各向异性(如POLYETCH)
16.AQL(AeptanceQualityLevel):承受质量标准,在一定采样下,可以95%置信度通过质量标准(不同于可靠性,可靠性要求一定时间后的失效率)
17.ARC(Antireflectivecoating):抗反射层(用于METAL等层的光刻)
18.Antimony(Sb)锑
19.Argon(Ar)氩
20.Arsenic(As)砷
21.Arsenictrioxide(As2O3)三氧化二砷
22.Arsine(AsH3)
23.Asher:去胶机
24.Aspectration:形貌比(ETCH中的深度、宽度比)
25.Autodoping:自搀杂(外延时SUB的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延层)
26.Backend:后段(CONTACT以后、PCM测试前)
27.Baseline:标准流程
28.Benchmark:基准
29.Bipolar:双极
30.Boat:扩散用(石英)舟
31.CD:(CriticalDimension)临界(关键)尺寸。在工艺上通常指条宽,例如POLYCD为多晶条宽。
32.Characterwindow:特征窗口。用文字或数字描述的包含工艺所有特性的一个方形区域。
33.Chemical-mechanicalpolish(CMP):化学机械抛光法。一种去掉圆片外表某种物质的方法。
34.Chemicalvapordeposition(CVD):化学汽相淀积。一种通过化学反响生成一层薄膜的工艺。
35.Chip:碎片或芯片。
36.CIM:puter-integratedmanufacturing的缩写。用计算机控制和监控制造工艺的一种综合方式。
37.Circuitdesign:电路设计。一种将各种元器件连接起来实现一定功能的技术。
38.Cleanroom:一种在温度,湿度和干净度方面都需要满足某些特殊要求的特定区域。
39.Compensationdoping:补偿掺杂。向P型半导体掺入施主杂质或向N型掺入受主杂质。
40.CMOS:plementarymetaloxidesemiconductor的缩写。一种将PMOS和NMOS在同一个硅衬底上混合制造的工艺。
41.Computer-aideddesign(CAD):计算机辅助设计。
42.Conductivitytype:传导类型,由多数载流子决定。在N型材料中多数载流子是电子,在P型材料中多数载流子是空穴。
43.Contact:孔。在工艺中通常指孔1,即连接铝和硅的孔。
44.Controlchart:控制图。一种用统计数据描述的可以代表工艺某种性质的曲线图表。
45.Correlation:相关性。
46.Cp:工艺能力,详见processcapability。
47.Cpk:工艺能力指数,详见processcapabilityindex。
48.Cycletime:圆片做完某段工艺或设定工艺段所需要的时间。通常用来衡量流通速度的快慢。
49.Damage:损伤。对于单晶体来说,有时晶格缺陷在外表处理后形成无法修复的
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