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厂系概述

目一、厂系功能二、厂务系统使用材质三、厂系流程

一、厂系功能

1.1水系在制程中的功能PCW制程冷却水制程机台冷却UPW/DIW超纯水补水/清洗/稀释ChillWater冰水冷却用冷源/空调用冰水DI回收/冷凝回收/再生使用原水/一般用水RW回收水CW自来水

1.2气体系在制程中的功能CDA压缩干燥空气搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹GN2一般氮气Purge/洁净冲吹PN2纯化氮气Purge/空间填充/超洁净冲吹制程需求/空间填充/超洁净冲吹制程填充需求/制程需求其他B-GAS大宗气体S-GAS特殊气体

1.3化学系在制程中的功能Chemical化学药品清洁清洗/制程需求

1.4真空系统在制程中的功能PV制程真空吸引搬移HV清洁真空尘屑吸引清洁

1.5排气/排水系在制程中的功能PumpLine制程高真空制程转换之高真空建立Exhaust排气系统制程转换之废气排除Drain排水系统制程使用之废DI/Chemical排放

二、厂系使用材

2.1水系使用PCW制程冷却水SUS304/高压软管UPW/DIW超纯水CPVC/PVDF/PFAChillWater冰水SUS304SUS304SUS304RW回收水CW自来水

2.2气体系使用CDA压缩干燥空气SUS304LAP/BA/316LBASUS316LBA/EPGN2一般氮气PN2纯化氮气SUS316LEP其他B-GAS大宗气体SUS316LEP/PH2有时用双套管(EP/AP)SUS316LEP/双套管/加热套S-GAS特殊气体

2.3化学系使用材有机类化学药品溶剂类→SUS316BAH2SO4/NaOH→PVC/CPVCCPVC/PFA/PVDF/PTFE一般酸碱化学药品其他化学药品

2.4真空系使用PV制程真空PVCSCH80/SUS304PVCSCH80/SUS304HV清洁真空

2.5排气系使用PumpLine制程高真空SUS316BA/EPGEX一般排气镀锌螺旋风管Solvent有机排气SUS304全焊式不锈钢风管不锈钢TeflonCoating风管Acid/Ak酸硷排气

2.6排水系使用材Drain一般排水PVC/PVCSCH80Solvent有机排气水SUS304不锈钢管Acid/Ak酸硷排气水PVCSCH80/PVDF/PTFE/PFA

三、厂务系统流程

3.1制程冷却水系略流程原水补水膨胀水箱板热冰水进冰水出制程管线进水回水机台冷却

3.2冰水系略流程大气MAUVAUAHU冰水回冰水主机冷却水塔冷媒循环冷却水冰水出其他空调箱板热

3.3纯水系统简略流程精密滤器5μM滤心CityWater自来水阴/阳离子交换树脂塔ROTankRO进水槽热交换器多层过滤器纯水储水槽紫外线杀菌灯精密滤器1μM滤心RO储水槽逆渗透模块CEDI精密滤器1μM滤心精密滤器0.2μM滤心核子级树脂制程使用点

3.4自来水/回收水系略流程自来水回收水自来水外管空气中水份冷盘/空调箱水表/隔离阀回收管线回收水槽使用点供应管线使用点

3.5CDA/GN2/PN2系统简略流程CDA初级过滤器冷冻式干燥机吸附式干燥机精密过滤器大气空压机蓄压槽一/二次管二次盘使用点CQCGN2/PN2氮气产生器大气液氮槽蒸发器减压站过滤器纯化器一/二次管二次盘使用点CQC

3.6其他大宗气体/特气系略流程O2液氧储槽蒸发器减压站过滤器纯化器CQC一/二次管二次盘使用点He/Ar/Kr/H2…钢瓶/BundleTrunker一/二次管二次盘减压站过滤器纯化器CQC使用点使用点SpecialtyGasCabinet气瓶柜VMB/P阀箱管线管线钢瓶

3.7高真空/排气系略流程PumpingLine机台制程Chamber高真空管路高真空管路真空泵ScrubberExhaust风管GEX机台出口Damper风管风机风机大气OthersExhaust机台出口DamperScrubber大气风管

3.8真空系略流程PV制程机台使用点一/二次管二次盘真空Pump真空管路真空管路真空储槽HV配置需求使用点真空清洁储槽真空Pump开关盒

3.9化学系略流程Chemical化学品供应槽车化学品储槽传送系统供应槽分配系统废液回收槽回收管线使用点VMB/P化学管路

3.10水收集系略流程DrainPipe机台排放点收集管理厂

3.11水理系略流程WasteWaterTreatment生物接触槽PH整槽PH反槽曝气槽收集槽聚合物凝槽沉淀槽澄清槽脱水机收集槽运弃

英文写照