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2、MOCVD设备自身采取的安全措施（设备安装说明书、操作指南等）；
XXXX科技有限公司入住XXX技术开发区的《LED芯片生产项目》中，LED外
延片生产使用MOCVD设备。该设备用NH3、H2、N2气体作为原材料。
MOCVD设备是用来生长半导体材料的重要设备，气体通道都使用高质量的不
锈钢材料制成，管道全部采用焊接或VCR方式连接，以确保管道和腔体具有相当
良好的气密性，气体泄漏的可能性极小；同时，MOCVD在现场安装时实施严格的
气密性
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