半导体材料晶体生长通用课件.pptVIP

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第三章晶体生长^制造半导体器件的材料，绝大部分是单晶体，包括体单晶和薄膜单晶，因此，晶体生长问题对于半导体材料研制，是一个极为重要的问题。^本章主要内容：1、晶体生长的基本理论2、熔体中生长单晶的主要规律3、单晶的生长技术

晶体生长理论基础n晶体的形成方式：晶体是在物相转变的情况下形成的。物相有三种，即气相、液相和固相。由气相、液相转变成固相可形成晶体，固相之间也可以直接产生转变。晶体生长方式分三大类：固相生长液相生长，包括溶液生长和熔体生长气相生长

天然晶体的生长n1．由气相转变为固相：n从气相转变为固相的条件是要有足够低的蒸气压。在火山口附近常由火山喷气直接生成硫、碘或氯化钠的晶体。雪花就是由于水蒸气冷却直接结晶而成的晶体。夏威夷火山火山口生长的硫(S)晶体

n2.由液相转变为固相：n1.从熔体中结晶,即熔体过冷却时发生结晶现象，出现晶体；n2.从溶液中结晶,即溶液达到过饱和时，析出晶体；n3.水分蒸发，如天然盐湖卤水蒸发，盐类矿物结晶出来；通过化学反应生成难溶物质。天然盐湖卤水蒸发珍珠岩

3．由固相变为固相：n1).同质多相转变，某种晶体在热力学条件改变的时候，转变为另一种在新条件下稳定的晶体；n2).原矿物晶粒逐渐变大，如由细粒方解石组成的石灰岩与岩浆接触时，受热再结晶成为由粗粒方解石组成的大理岩；大理岩细粒方解石

3．由固相变为固相：n3).固溶体分解，在一定温度下固溶体可以分离成为几种独立矿物；n4).变晶，矿物在定向压力方向上溶解，而在垂直于压力方向上结晶，因而形成一向延长或二向延展的变质矿物，如角闪石、云母晶体等；n5).由固态非晶质结晶，火山喷发出的熔岩流迅速冷却，固结成为非晶质的火山玻璃，这种火山玻璃经过千百年以上的长时间以后，可逐渐转变为结晶质。

晶体形成的热力学条件从图上直接说明气-固相、固-液相转变的条件。

晶体形成的热力学条件n从图可直接看出：n气-固相转变条件：温度不变，物质的分压大于其饱和蒸汽压。压力不变，物质的温度低于其凝华点。

晶体形成的热力学条件n从可直接看出：n固-液相转变的条件：对熔体，压力不变，物质的温度低于其熔点n不能看出的条件：液-固相，对溶液，物质的浓度大于其溶解度。

n概括来说，n气－固相变过程时，要析出晶体，要求有一定的过饱和蒸气压。n液－固相变过程时，要析出晶体，要求有一定的过饱和度。n固－固相变过程时，要析出晶体，要求有一定的过冷度。?详见课本3－1－1

晶核的形成n研究发现，结晶过程是由形核与长大两个过程所组成。n结晶时首先在液体中形成具有某一尺寸（临界尺寸）的晶核，然后这些晶核不断凝聚液体中的原子而长大。形核过程和长大过程紧密联系但又有所区别。

晶核的形成n在母相中形成等于或超过一定临界大小的新相晶核的过程称为“形核”n形成固态晶核有两种方法，n1)均匀形核，又称均质形核或自发形核。n2)非均匀形核，又称异质形核或非自发形核。

晶核的形成n均匀形核：当母相中各个区域出现新相晶核的几率相同，晶核由液相中的一些原子团直接形成，不受杂质粒子或外来表面的影响，这种形核叫均匀形核，又称均质形核或自发形核

晶核的形成n非均匀形核：若新相优先在母相某些区域中存在的异质处形核，即依附于液相中的杂质或外来表面形核，则称为非均匀形核。又称异质形核或非自发形核

气相中的均匀成核n在气-固相体系中，气体分子不停的做无规则的运动，n能量高的气子发生碰撞后再弹开，这种碰撞类似于弹性碰撞，n而某些能量低的分子，可能在碰撞后就连接在一起，形成一些几个分子(多为2个)组成的“小集团”，称为“晶胚”。

气相中的均匀成核n晶胚有两种发展趋势：n1、继续长大，形成稳定的晶核；n2、重新拆散，分开为单个的分子。

液相中的均匀成核n晶体熔化后的液态结构是长程无序的，但在短程范围内却存在着不稳定的接近于有序的原子集团，它们此消彼长，出现结构起伏或叫相起伏。

液相中的均匀成核n当温度降到结晶温度时，这些原子集团就可能成为均匀形核的“胚芽”，称为晶胚；其原子呈晶态的规则排列，这就是晶核。

n晶体生长的一般过程是先生成晶核，而后再长大。一般认为晶体从液相或气相中的生长有三个阶段：n①介质达到过饱和、过冷却阶段；n②成核阶段；n③生长阶段。n

n关于晶体生长的有两个理论：1.层生长理论；2.螺旋生长理论。n当晶体生长不受外界任何因素的影响时，晶体将长成理想晶体，它的内部结构严格的服从空间格子规律，外形应为规则的几何多面体，面平、棱直，同一单形的晶面同形长大。n实际上晶体在生长过程中，真正理想的晶体生长条件是不存在的，总会不同程度的受到复杂外