半导体超纯聚合物过流部件污染物及表面粗糙度检测要求.docxVIP

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2024-09-21 发布于上海
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半导体超纯聚合物过流部件污染物及表面粗糙度检测要求.docx

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T/CMES1.1—201X

PAGE6

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ICS23.020.01

CCSJ20

团体标准

T/CHPSAYY005—2024T/CMES24021—2024

半导体超纯聚合物过流部件污染物及表面粗糙度技术要求

Technicalspecificationforcontaminationandsurfaceroughnessofwetcomponentsmadeofultrapurepolymermaterialsusedinsemiconductorprocessing

求意见稿）

2024-10-01发布

2024-11-01实施

中国液压气动密封件工业协会

中国机械工程学会

发布

T/CHPSAYY005—2024/T/CMES24021—2024

PAGEIII

T/CMES1.1—201X

PAGEIV

中国液压气动密封

中国液压气动密封件工业协会（英文简称CHPSA）和中国机械工程学会（英文简称CMES）是具备开展国内、国际标准化活动资质的全国性社会团体。制定团体标准，以满足企业需要和市场需求，推动行业创新发展，是CHPSA和CMES团体标准的工作内容之一。中国境内的团体和个人，均可提出制、修订CHPSA和CMES团体标准的建议并参与有关工作。

CHPSA/CMES团体标准按《CHPSA/CMES团体标准管理办法》进行制定和管理。

CHPSA/CMES团体标准草案经向社会公开征求意见，并得到参加审定会议的3/4以上的专家、成员的投票赞同，方可作为CHPSA/CMES团体标准予以发布。

在本标准实施过程中，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄给CHPSA或CMES，以便修订时参考。

本标准版权为

本标准版权为CHPSA和CMES所有。除了用于国家法律法规或事先得到CHPSA或CMES正式许可外，不得以任何形式或手段复制、再版或使用本标准及其章节（包括电子版、影印件、发布在互联网及内部网络等）以及用于其他商业目的。