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低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示技术（LTPSTFT--第1页
低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示技术
（LTPSTFT
北方彩晶集团谷至华
2005年1月
由于多晶硅电学性能上的优势，可以实现玻璃基板上的驱动集成（CHIPON
GLASS简写COG）,系统集成（SYSTEMONGLASS简写SOG），可以现实更高分
辨率，更快的响应速度，稳定性，可靠性更高的显示器件，低温多晶硅是TFT-
LCD产业发展的方向。
该领域涉及主要产品及技术
主要产品:手机、数码相机、便携视听产品，车载移动终端，高级计算机显
示器等。
技术：低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器（Lp-SiTFT－LCD）技术涉及集
成电路设计、信号转换、薄膜技术、液晶显示技术、激光技术、界面处理技术
等，低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器是目前世界上必威体育精装版的技术，代表了一个
国家的平板显示产业的技术水平。
1.技术及产品发展现状
LTPSTFT物理电学特性较a-SiTFT性能更加优异，具有更高的集成度，
可以实现驱动电路的集成，甚至计算机系统的集成，外接元件大量减少，器件
的性能得到大幅度提升，更加稳定，更加可靠，而器件的成本会更加低。是平
板显示技术的发展方向。
低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示技术（LTPSTFT--第1页
低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示技术（LTPSTFT--第2页
但是由于技术难度比较大，特别是大面积激光退火技术具有非常大的工艺
挑战性。目前只有日本东芝和松下在新加坡投资的4.5五代线可以生产17英寸
的多晶硅液晶显示器，其他公司基本上只能处理手机和移动终端的小尺寸的多
晶硅。
多晶硅TFT-LCD还是投影显示领域的核心技术之一。是数字化电影院建设
的关键部件，在教育、办公和大屏幕投影家庭影院领域也有巨大的市场。
随着LTPS技术的逐渐成熟，在未来的10年中，LTPS将成为平板显示领域
的核心技术，有机电致发光，厚膜无机电致发光都需要LTPS技术，大尺寸液晶
电视也期待着LTPS的应用。
LTPS作为平板显示器产业的重大潜在核心技术受到国际上科研和产业界的
高度重视。通过对早期TFT-LCDa-SiTFT生产线改造，投入少，可以使产业迅
速升级。目前国际上3代一下的非晶硅TFT-LCD生产线基本上都已经改造成为
多晶硅生产线。国内产业界在这一领域几乎没有动静。表1是全球多晶硅生产
线的建设情况，供参考。
表1全球多晶硅生产线（2004年12月统计）
厂家基板产能总面积市场备注
AFPD730×3020.14822.8LTPSi
TOSHIBA400×1530003.4LTPSi
400×3060006.8LTPSi
550×259.21310.4LTPSi
MATSUSHI320×1417922LTPSi
STLCD600×1564807.3LTPSi
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