芯片生产厂房微振动控制工程技术规范(征求意见稿).pptx

芯片生产厂房微振动控制工程技术规范(征求意见稿).pptx

  1. 1、本文档共29页,可阅读全部内容。
  2. 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多

SJ/TXXXXX—XXXX

目录

1总则.............................................................................................................................................1

2术语和符号.................................................................................................................................2

2.1术语......................................................................................................................................2

2.2符号......................................................................................................................................2

3基本规定.....................................................................................................................................4

4厂区选址与规划.........................................................................................................................5

4.1厂区选址..............................................................................................................................5

4.2厂区规划..............................................................................................................................6

5微振动控制标准.........................................................................................................................7

6微振动测试与评估...................................................................................................................10

6.1一般规定............................................................................................................................10

6.2场地测试与评估................................................................................................................11

6.3竣工测试与评估................................................................................................................12

6.4空态测试与评估................................................................................................................13

6.5动态测试与评估...................................................................

文档评论(0)

随风飘落 + 关注
实名认证
内容提供者

人力资源管理师持证人

一个写作爱好者,与大家分享

领域认证该用户于2023年07月07日上传了人力资源管理师

1亿VIP精品文档

相关文档