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氧化物电极对HfO2基铁电薄膜电学性能的影响
摘要：自从氧化铪基薄膜被证实具有铁电性以来，其宽广的运用前景和商业应用价值就收到广泛的关注。但HfO2基铁电薄膜的发展仍然存在许多限制因素，通过更改电极，能够对HfO2基铁电薄膜性能起到一些正向影响。本文系统的介绍了HfO2基铁电薄膜的性能、研究现状和应用前景，并对比了不同电极对HfO2基铁电薄膜性能的影响，大致总结了电极影响HfO2基铁电薄膜电学性能的作用机理。
关键字：HfO2基铁电薄膜；氧化物电极：氧空位；电学性能
Effectofoxideelectrodeonelectricalpropertiesof
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