GB/T 25915.17-2024洁净室及相关受控环境　第17部分：粒子沉积速率应用.pdf

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT25915.172024ISO14644-172021

洁净室及相关受控环境

:

第部分粒子沉积速率应用

17

—

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments

:

Part17Particledeositionratealications

ppp

(:,)

ISO14644-172021IDT

2024-08-23发布2025-03-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT25915.172024ISO14644-172021

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号………………………3

5粒子沉积速率使用方法…………………3

6粒子沉积速率的测量……………………4

7粒子沉积速率水平………………………4

8记录………………………5

()…………………

附录资料性粒子沉积速率的测量

A7

()………………

附录资料性粒子沉积速率测量示例

B9

()…………………

附录资料性粒子遮蔽速率的测量

C