体硅FinFET MOS晶体管的热载流子效应.docx

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体硅FinFETMOS晶体管的热载流子效应

摘要

随着微电子产业的不断发展，集成电路也随之飞速进步，实现了在集成度、可靠性以及性能等方面的大幅度提高，与此同时器件的特征尺寸也在不断减小，由此给器件带来了关于可靠性方面的问题，热载流子效应就是其中重要的原因之一，热载流子效应会引起金属氧化物场效应晶体管(Metal-Oxide-Semiconductor?Field-Effect?Transistor，MOSFET)器件特性退化，降低器件的工作寿命，更有甚者会影响整个电路以及系统的性能。因此研究热载流子效应会给电路以及系统具体带来什么样的影