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镀膜设备的维护与保养--第1页

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第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识

真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。真空镀膜设备的运行状况直

接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建

立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。

一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出

现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。

1.有完善的制度和设备的使用操作规程。

A、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设

备等。这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。

B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详

细易懂的操作说明书（这份说明书是根椐各自厂内环境及实际情况编写的）。

而且在每个新学员工在操作机器之前要看懂，在指定的掊训人员监看下按照

说明书一步一步操作。并在培训完后考核合格上岗。（附样本说明书）

C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。这里面包括了作业之前的准

备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事

项，事后检查（检查有无遗漏零部件，工具，及冷却水无有打开。）现场清

理工作。（附作业指导书苑本）

D、建立设备台帐。设备的台帐好比人一生的档案一样。从设备安装调试那

天起就应该记录设备的一些重要参数。（比如极限真空度，前级，预抽的真

空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维修记录）

E、保养记录表。第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表）

F、异常维修记录表。记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的

结论、处理的方法，以及预防被免再次发生的措施。（附表）

可能这些文字工作对有些师傅们觉得有些不耐烦。但我认为这样恰恰是起到

了事半功倍的效果。既可以大大提高我们的分析异常的能力和速度，又减少了因

为一些小的疏忽而酿成设备大的损伤。这些记录同时对企业和个人来说也是一笔

重要的财富。

2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力

强的维修人员负责。

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二、设备的维护，要有日常维护和定期维护。

1.日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，就马上解决。发现机械泵

的油少了就要添加，不要认为这油是定期更换的，等到了时间在维护，可能泵的

转子就会磨损严重了。再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它

彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等。

2.定期维护，有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗？其实每一种设备都

有自己使用寿命，比如扩散泵用的硅油使用寿命为2年左右，我就规定1年半就

把它换掉，这样做是不是浪费，我觉的不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，

老板最不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护

做好了，在延长设备寿命的同时，生产过程中出现故障的几率也大大降低，生产

效率也提高了。

三、设备保养和维修最重要的是讲究“细心”二字，每一个师傅努力要求

自己做到“我办事，你放心”，也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑。

做好这一点可少走很多弯路，我想在坐每位师傅都深有体会。其次是要善于分