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磁控溅射法制备掺锌TiO2薄膜及其亲水性能影响研究
摘要：本实验采用磁控溅射法制备掺锌TiO2薄膜及其对亲水性性能的研究，通过控制氧氩流量比，镀膜时长，锌掺杂量，退火温度等工艺参数制备薄膜，并利用紫外-可见光分光光度计、X射线衍射仪、亲水性测试仪等仪器对薄膜性能检测，找出制备锌掺杂量、不同退火温度对亲水性的最优参数。利用好TiO2薄膜具备亲水性的特性，我们在未来可以应用到生产、生活的方方面面，所以研究其亲水性很有必要。
关键词：磁控溅射法；TiO2薄膜；锌掺杂；退火温度；亲水性能
第1章文献综述
1.1前言
1.1.1研究背景
在二十世纪七十年代
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