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3.3电容式传感器电容式传感器的工作原理电容式传感器主要性能电容式传感器的特点和设计要点电容式传感器等效电路电容式传感器测量电路电容式传感器的应用容栅式传感器
3.3.1电容式传感器的工作原理工作原理及类型变极距型电容传感器变面积型电容传感器变介电常数型电容式传感器
1.工作原理及类型
变极距(δ）型变面积型(S)型变介电常数(ε)型
2.变极距型电容传感器差动式
3.变面积型电容传感器
电容式角位移传感器当当θ
4.变介电常数型电容式传感器例题
3.3.2电容式传感器主要性能静态灵敏度非线性
变极距型差动结构也可提高灵敏度
平板式变面积型
2.非线性变极距型
差动形式
3.3.3传感器的特点和设计要点特点设计要点
1、特点温度稳定性好电容值与电极材料无关；本身发热极小动态响应好
缺点：输出阻抗高、负载能力差一般为几十到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高。寄生电容影响大
2.设计要点低成本、高精度、高分辨率、稳定可靠和高的频率响应
电容式液位传感器由
3.3.4电容式传感器等效电路
低频等效电路???
高频等效电路?r
3.3.5电容式传感器测量电路调频电路运算放大器电路双T型电桥电路脉宽调制电路
(1)调频电路
(2).运算放大器式电路最大特点
结论线性
(3)二极管双T型电路
电路的特点:
(4).脉宽调制电路?利用对传感器电容的充?
差动脉冲调宽电路原理图
结论
特性：
优点：
CF
3.3.6电容式传感器的应用
电容式差压传感器需把膜片的一侧密封并抽成高真空(10-5Pa)即可
电容式加速度传感器
电容式位移传感器应用
3.3.7容栅式传感器基本类型及工作原理容栅传感器电极的结构形式信号处理方式容栅式传感器应用
(1)基本类型及工作原理ll
长容栅
片状圆容栅
柱状圆容栅
(2)容栅传感器电极的结构形式
(a)直电极反射式
(b)直电极透射式
(c)反射式L型电极
(3)信号处理方式?鉴幅式测量电路?鉴相式测量电路
（a）鉴幅式测量系统
（b）鉴相式测量系统
(4)容栅式传感器应用?主要应用于量具、量仪?角位移?线位移
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