PECVD培训教程（必威体育精装版文档）.ppt

八、各工位检查项目检验项目仪器产品标准/相关内容检验方式责任人检验数量检验频度预热检查目视①每炉清洗，无硅粉残留。

③预热炉进出炉时间点检。

④工件架中的刻线规格是否和品质追踪上一致

⑤钢化玻璃门是否有进炉一起预热。

⑥预热出炉后到沉积的时间不超过10分钟。自检作业员一次每炉巡检IPQC一次4h沉积检查目视①沉积室腔体内壁无明显硅粉、颗粒。

②设备电极无氧化、发黑。

③特气管、地线正常连接。

④程序选择正确。

⑤辉光正常，反射功率小于10w。

⑥沉积压力与气体流量正常稳定。⑦沉积温度在215℃～250℃。自检作业员一次每炉巡检IPQC一次4h*八、各工位检查项目检验项目仪器产品标准/相关内容检验方式责任人检验数量检验频度冷却、卸片目视、红外测温仪①工件架自然冷却，出炉时不允许立即靠近空调或者风扇。

②卸片温度低于55℃。

③条码贴的位置是否正确，字迹清晰并可扫描到计算机，且编号和片一一对应。确认的不良品贴上正确的不良项目条码并在品质追踪单上需记录清楚。

④注意芯片受光面是否有刮伤，记录刮伤电极编号。⑤不良品需隔离放置标识清楚。⑥检查卸片作业方式与Sop文件一致性。自检作业员一次每炉巡检IPQC一次4h*九、异常处理现象影响判断处理工件架硅粉或其他粉尘过多1:影响激光二刻划2:影响沉积效果1：用手电筒侧面照射电池芯片半成品的膜面，看表面是否能观察到非常多颗粒状的硅粉1：对工件架做清洁保养真空室预抽异常无法正常执行工艺1：开启机械泵6秒内腔室真空压力仍然没有下降趋势判断为真空室异常2：沉积室前后门伴有漏气的声音（低真空时）。3：分子泵抽气20分后保压，若半小时内上升至5Pa以上，确定为沉积室密封性异常。1:检查门的情况，若用外力挤压使其合上，沉积完后通知设备调节门轴。2:用酒精擦拭密封圈周围再次尝试。3:数次尝试无效后，通知设备维修.*九、异常处理现象影响判断处理电源反射功率异常1:造成芯片低功率2:造成整炉芯片报废1：反射功率超过80W认为异常1：切换自动手动匹配。2：手动情况下开启扫频功能。3：手动调节两个电容的位置。4：手动调节电源工作频率。5：在品质跟踪单上记录异常情况6：问题严重，通知设备冷却水异常1：影响射频电源2：干泵、分子泵1：检查RF电源的冷却水管的水温，可以察看干泵冷却循环水设备的出水口温度显示，高于30度认为异常。1：水温过高时若没在辉光步骤，则停止工艺等待补做。2：电源不能正常辉光，关闭该电极，辉光完后停止工艺。3：干泵停止工作，立即停止工艺。4：记录故障详细情况。*九、异常处理现象影响判断处理分子泵报警造成工艺停止，出现芯片不良情况分子泵警报根据分子泵自身报警处理操作，分子泵在报警后会自动停止运转。若正在用则停止工艺通知设备，若不用则完成本次沉积后通知设备。对于上述没有提及的其他异常情况，在优先进行必要安全操作的前提下，及时通知技术部门解决。**GuangdongHanergySolarCo.,Ltd.PECVD设备常见真空问题1.现象：真空抽不下原因一：炉门密封圈老化解决：更换密封圈原因二：炉门门缝太大解决：调节门缝2.现象：腔体有漏原因：经检漏发现电极漏气解决：拆下重装后再次检漏漏率OK4.现象：干泵显示冷却循环水温度过高原因：冷却循环水管路堵塞处理：用氮气吹扫干泵PB的进出水管路后恢复正常3.现象：干泵运行一小时后就自动停机并报警，显示故障代码“5.12”，原因：经厂家分析为过热报警。查找到DP泵的冷却水管路没接好。解决：接好后设备正常。九、异常处理*GuangdongHanergySolarCo.,Ltd.PECVD设备常见射频问题原因：把相邻匹配器的输出电缆互换，判断得知电极有接触故