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单晶操作工艺规程--第1页

.操作工艺流程

热场清扫T热场组装T装料T化料T稳定T引晶T放肩T转肩T等径T收尾T冷却热场清

扫的要求与注意事项

1、热场清扫时要求除石墨部件表面的氧化物；

2、碳毡表面和底部的氧化物；

3、把清扫完的石墨部件要放在清扫干净的热场车上；

4、清扫热场前要求穿戴取热场部件必须带上防热手套以免烫伤；

5、拿下的热场部件要轻拿轻放，放在热场车上，禁止与金属接触，如：油漆、润滑油等;

6、清扫热场时必须在指定地点，远离单晶炉，禁止用空调吹，清扫要认真、仔细，热场部

件一定要清扫干净；

7、拆热场时要注意热场放置的顺序和它的位置，禁止叠放。

二、热场组装

1、保证石墨部件的同轴度；

2、保证石墨部件之间的配合；

3、加热器脚螺栓要拧松紧适中；

4、检查石墨部件的洁净度和石墨部件是否有损伤；

5、中轴是否居中拧紧；

6、放置保温筒后对中导气孔测温孔；

7、加热器放水平，对中，检查其脚是否有碎的石墨纸；

8石墨坩埚放水平，检查旋转时是否有晃动；

9、总的要求是：水平、同心、同轴。

注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。作成审核批准承认

变更内容：

吴道庆吴道庆

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三、装料

1、装料前必须按要求着装；注意好工艺卫生，防止料的二次污染。

2、如果有大块料需要提前处理，处理时必须保证不受任何污染；

3、先检查石英坩埚是否的损伤，气泡，黑点，是否符合石英坩埚的检查标准，然后将石英

坩埚装好，保证水平；

4、装料时所注意到的有：

（1）检查石英坩埚放置是否水平

（2）着装是否正确

（3）放掺杂剂

（4）料与石英坩埚之间避免撞击

（5）大块料和埚底料放在最下面

（6）碎料应装在石英坩埚1/2以下位置

（7）最上面装中等大小的块状料

（8）注意更换卫生用具，每装完一袋料更换一次一次性手套；

（9）装料时不允许旁观者近距离接触现场

（10）装料完毕后，将坩埚下降与加热器水平，下降籽晶吊绳，慢慢上升吊绳，要求籽

晶的上升速度为200mm/min

四、点检

1、先开主泵去看主泵的油位

2、冷水压力是否在0.2—0.3mpa之间

3、氩气压力是否在0.25—0.3mpa之间

注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。作成审核批准承认

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吴道庆吴道庆

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4、副泵油位是否在1/2—2/3之间

5、真空泵油位是否在1/2—4/5之间，油是否清晰

6、真空