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单晶操作工艺规程--第1页
.操作工艺流程
热场清扫T热场组装T装料T化料T稳定T引晶T放肩T转肩T等径T收尾T冷却热场清
扫的要求与注意事项
1、热场清扫时要求除石墨部件表面的氧化物;
2、碳毡表面和底部的氧化物;
3、把清扫完的石墨部件要放在清扫干净的热场车上;
4、清扫热场前要求穿戴取热场部件必须带上防热手套以免烫伤;
5、拿下的热场部件要轻拿轻放,放在热场车上,禁止与金属接触,如:油漆、润滑油等;
6、清扫热场时必须在指定地点,远离单晶炉,禁止用空调吹,清扫要认真、仔细,热场部
件一定要清扫干净;
7、拆热场时要注意热场放置的顺序和它的位置,禁止叠放。
二、热场组装
1、保证石墨部件的同轴度;
2、保证石墨部件之间的配合;
3、加热器脚螺栓要拧松紧适中;
4、检查石墨部件的洁净度和石墨部件是否有损伤;
5、中轴是否居中拧紧;
6、放置保温筒后对中导气孔测温孔;
7、加热器放水平,对中,检查其脚是否有碎的石墨纸;
8石墨坩埚放水平,检查旋转时是否有晃动;
9、总的要求是:水平、同心、同轴。
注:本文件的更改,应由建议者提出申请,经批准后方可变更。作成审核批准承认
变更内容:
吴道庆吴道庆
文件编号版/次总29页
单晶操作工艺规程--第1页
单晶操作工艺规程--第2页
A/0第页
1
三、装料
1、装料前必须按要求着装;注意好工艺卫生,防止料的二次污染。
2、如果有大块料需要提前处理,处理时必须保证不受任何污染;
3、先检查石英坩埚是否的损伤,气泡,黑点,是否符合石英坩埚的检查标准,然后将石英
坩埚装好,保证水平;
4、装料时所注意到的有:
(1)检查石英坩埚放置是否水平
(2)着装是否正确
(3)放掺杂剂
(4)料与石英坩埚之间避免撞击
(5)大块料和埚底料放在最下面
(6)碎料应装在石英坩埚1/2以下位置
(7)最上面装中等大小的块状料
(8)注意更换卫生用具,每装完一袋料更换一次一次性手套;
(9)装料时不允许旁观者近距离接触现场
(10)装料完毕后,将坩埚下降与加热器水平,下降籽晶吊绳,慢慢上升吊绳,要求籽
晶的上升速度为200mm/min
四、点检
1、先开主泵去看主泵的油位
2、冷水压力是否在0.2—0.3mpa之间
3、氩气压力是否在0.25—0.3mpa之间
注:本文件的更改,应由建议者提出申请,经批准后方可变更。作成审核批准承认
变更内容:
吴道庆吴道庆
单晶操作工艺规程--第2页
单晶操作工艺规程--第3页
文件编号版/次总29页
A/0第页
2
4、副泵油位是否在1/2—2/3之间
5、真空泵油位是否在1/2—4/5之间,油是否清晰
6、真空
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