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HTPSLCD面板技术综观

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随着DVD激光视盘机与数字广播系统的普及，高分辨率影像源

的数量也正逐渐增加，前投影机、大屏幕HDTV液晶投影电视，以及

其它家用投影机市场带动数字投影机的市场持续扩大。这一成长也刺

激消费大众对于三片式LCD投影机之需求。本文将为读者解析三片式

LCD投影机中的HTPSLCD面板，并介绍其特色。

随着日渐提高的商务演示文稿需求，以及最近在教育市场中开始

提高的投影机应用，商用投影机HTPS面板的需求量也一直持续攀升。

同时，DVD放影机与数字广播的普及也激发了顾客对于家用前投影机

（Frontprojectors）与大屏幕LCD投影电视机（Large-screenprojection

TV）需求的快速成长。

长久以来HTPSLCD技术一直带领三片式LCD投影系统前进投影

机市场，而在液晶光阀（liquid-crystallightvalve）的制造商中，以HTPS

LCD技术为主的三片式LCD投影系统也拥有将近55%的全球市占率。

这是由于更先进的液晶与高开口率技术，才能提供具有良好光效率、

高亮度表现以及丰富色彩重现能力，且不会对眼睛或环境造成伤害的

低功率HTPS产品。

何谓HTPS？

HTPS是HighTemperaturePoly-Silicon的缩写，翻译成中文是高温多

晶硅的意思，一般俗称高温玻璃。它是LCD显示家族中的一支，属

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于主动点矩阵式LCD（ActiveMatrixLCD），因此，HTPS也是TFT（Thin

FilmTransistor；薄膜晶体管）的一种。

HTPSLCD为多晶硅TFTLCD的制程技术之一。之所以被称为高温

玻璃，是因为在面板的制造过程中，有一道LaserAnneal（雷射退火）

制程，它的温度超过摄氏1000度。在多晶硅制程发展初期，为要将

玻璃基板之非晶硅结构转变成多晶硅结构，必须以摄氏1000度以上

的高温氧化技术，才能将非晶硅结构特性转化为多晶硅结构。由于普

通玻璃无法如此高温处理，只有石英玻璃才能如此处理，其价格较为

昂贵且尺寸皆较小，故于多晶硅制程发展初期，厂商基于成本考虑，

多走非晶硅路线。

此外，另有一种同属于TFTLCD的LTPSLCD（LowTemperature

Poly-Silicon；低温多晶硅）。LTPSLCD之所以称为低温，是由于其制程

温度没有那么高，仅约摄氏500～600度之谱，且依各个制造商的制

程而稍有差异。低温多晶硅制程是利用准分子雷射作为热源，雷射光

经过投射系统后，会产生能量均匀分布的激光束，投射于非晶硅结构

的玻璃基板上，当非晶硅结构玻璃基板吸收准分子雷射的能量后，会

转变成为多晶硅结构，因整个处理过程都是在摄氏600度以下完成，

所以一般玻璃基板皆可适用。低温多晶硅技术主要特点在于改变液晶

构造以提升传统非晶硅液晶技术性能及降低制造成本。由于LTPS技

术可提升电子迁移率达200（cm2/V-sec），有利于TFT组件小型化，

并提高面板开口率，使得显示亮度增加、降低耗电率。此外，低温制

程有利于使用玻璃基板，而可大幅降低生产成本。HTPS与LTPS其主

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HTPSLCD面板