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超薄Ag层透明导电复合薄膜的制备和光电性能研究.pdf

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    摘要

    透明导电薄膜应用于光伏电池、显示设备、智能窗和电磁屏蔽窗等。对于

    非网栅、平面型透明导电膜，透光性和导电性一般呈倒置关系。本课题致力于

    设计研究光电性能优异、性能稳定的低成本实用型透明导电薄膜。采用磁控溅

    射工艺在K9玻璃上制备介质/金属/介质(DMD)结构的复合膜，利用介质层提高

    Ag层的结晶质量和复合膜的透光性，将连续Ag膜层的临界厚度降低到8-10nm，

    通过介质层的设计和退火工艺，获得了高品质因数(透过率的10次方除以方阻)

    的复合薄膜。主要内容和结果如下：

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