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T/SPSTS
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T/SPSTSICS111CCS222
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CCS222
深圳市电源技术学会团体标准
深圳市电源技术学会团体标准
发布深圳市电源技术学会20XX-XX-XX实施20XX-XX-XX发布石墨烯材料原子结构微区分析球差电镜法GrapheneMaterialsAtomicStructureAnalysisSpherical-aberrationcorrectedtransmissionelectronmicroscopy
发布
深圳市电源技术学会
20XX-XX-XX实施
20XX-XX-XX发布
石墨烯材料原子结构微区分析球差电镜法
GrapheneMaterialsAtomicStructureAnalysis
Spherical-aberrationcorrectedtransmissionelectronmicroscopy
(征求意见稿)
T/SPSTS
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前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由深圳市电源技术学会提出并归口。
本文件起草单位:清华大学国际研究生院材料与器件检测技术中心。
本文件主要起草人:李东、潘燕芳、廖华平、吴琴
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石墨烯材料原子结构微区分析球差电镜法
范围
本文件提供了使用球差矫正透射电镜的成像、电子衍射与能谱功能测定少层石墨烯材料原子排布的方法。
本文件适用于石墨烯材料原子结构微区分析。
规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T30544.13-2018纳米科技术语第13部分:石墨烯及相关二维材料
GB/T18907-2013微束分析分析电子显微术
JY/T0581-2020透射电子显微镜分析方法通则
ISO/TR19733:2019Nanotechnologies—Matrixofpropertiesandmeasurementtechniquesforgrapheneandrelatedtwo-dimensional(2D)materials(纳米技术-石墨烯和相关二维(2D)材料的性质和测量技术矩阵)
术语和定义
GB/T16549界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
石墨烯(单层石墨烯)graphene
由一个碳原子与周围三个近邻碳原子以sp2杂化键合形成蜂窝状结构的碳原子单层。
石墨烯材料graphenematerial
由石墨烯单独或紧密堆垛而成、层数不超过10层的二维材料及其衍生物。包括单层石墨烯、双层石墨烯、多层石墨烯(3层到10层石墨烯堆垛构成的二维材料)。
像差aberration
无论是光学透镜还是电磁透镜都无法做到完美,导致的成像上的误差为像差。主要包括球差、像散、彗差和色差,其中对电镜成像及分辨率影响较大的是“球差”和“色差”。
球差sphericalaberration
球差是球面像差(sphericalaberration)的简称。电子束经过电磁透镜时,由于透镜对电子束的偏转效果不完美(边缘汇聚能力强中心汇聚能力弱),使得靠近透镜中轴和边缘应会聚于一点的电子束只能形成一个弥散的圆斑,从而影响成像分辨率。光学透镜中,可通过将凸透镜和凹透镜组合使用来减少球差的影响,但电磁透镜没有凹透镜,球差便成了影响TEM分辨率最主要也最难解决的问题。
球差矫正器CScorrector
磁透镜球差校正的突破来自于非球面磁透镜的使用。有两种基本的球差校正器设计,即八极/四极组件,以及六极组件。使用特定的多极磁透镜能够产生一个负的Cs值,可以抵消球面磁透镜的正Cs,与光轴成高角度的散射光线现在被带到了正确的焦点上,拓展了点分辨率极限。
球差透射电镜/球差电镜
球差透射电镜(SpecialAberrationCorrectedTransmissionElectronMicroscope,AC-TEM)可分为AC-TEM(球差校正器安装在物镜位置)和AC-STEM(球差校正装置安装在聚光镜位置)。还有同时安装两个校正器,同时校正汇聚束(Probe)和成像(Image)的双球差
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