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（二）、TCO镀膜玻璃生产工艺技术

1、TCO镀膜玻璃技术综述

TCO镀膜玻璃生产技术有磁控溅射、金属有机物化学气相沉积、喷雾热解、脉冲激光

沉积、溶胶-凝胶法等方法。比较成熟的规模生产方式为在线镀膜（化学气象沉积如FTO

玻璃）和离线镀膜（磁控溅射如AZO玻璃等）。

不管是在线镀膜还是离线镀膜，TCO镀膜玻璃生产技术控制在少数国外厂商手中，如

日本板硝子、旭硝子、美国AFG等；我国近年来虽然有多家研究机构和公司申请了TCO镀膜

的发明专利，但仍未真正实现产业化，并且镀膜设备仍受国外生产商控制。

高品质的太阳能TCO玻璃基本被日本的旭硝子、板硝子和美国的AFG垄断，其中日本

旭硝子是全球FTO玻璃最大的供应商，拥有浮法在线金属有机物化学气相沉积镀膜的系统专

利技术，生产成本低廉。国内的南玻集团、信义科技也在开发生产，但还没有形成生产规模，

并且主要是离线方式生产。

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AZO、ITO、FTO三种TCO玻璃，技术性能对比：

优点缺点

ITO（In2O3：成本高；基板尺寸小；

电导率高

有毒；

Sn）

膜层硬；化学和力学抵方阻大；透过率偏低

FTO

抗性都很好

（SnO2:F）

原料易得，制造成本膜层偏软，镀膜后不能

AZO（ZnO：Al）低廉，无毒，易于实现钢化。产品刻蚀后存放

掺杂，性能指标好。时间短。

2、各种镀膜技术简述

2.1在线镀膜技术简述

在线镀膜：就是在浮法玻璃生产线锡槽的上方，安装镀膜设备，一般采用APCVD

（Atmosphericpressurechemicalvapordeposition常压化学气相沉积）工艺镀膜。

APCVD技术特点如下：

（1）通过反应、蒸发将金属氧化物沉积在加热的浮法玻璃表面；

（2）工艺温度在400～700℃；

（3）镀膜工艺集成在玻璃成型过程中；

（4）工艺设备相对简单；

（5）涂层与基体结合强度高；

（6）会产生有害气体，增加生产成本。

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（7）目前FTO在线镀膜技术比较成熟，AZO在线镀膜正在研发之中，尚不成熟。

2.2离线镀膜技术简介

2.2.1工作原理

磁控溅射镀膜的工作原理是：惰性气体在低压强下受电场的作用产生辉光放电，形成

的离子轰击阴极表面产生溅射现象，溅射出的靶原子沉积在玻璃基片上就形成各种薄膜。当

在放电气氛中充入活性气体时，溅射出的靶原子在到达基片时与活性气体反应而形成化合物

膜。使用不同的靶材或不同的反应气体可以得到各种不同特性膜。

2.2.2工艺流程

2.2.3技术特点如下：

（1）沉积层是在真空条件下获得的，膜层的纯度高；