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浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号：Q02-09
版本号：
页码：第1页共35页
单晶炉操作规程A/1
生效日期：2008年5月30日
一、目的：
为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常进行，特制订本规程。
二、范围：
适用于FT-CZ2008型单晶炉的操作。
图1FT-CZ2008型单晶炉图2操作柜
三、依据：
依据为直拉法生长硅单晶的工艺和FT-CZ2008型单晶炉的性能。
批准审核编制
修改履历
页码内容状态备注
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浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号：Q02-09
页码：第2页共35
版本号：A/1
单晶炉操作规程页
生效日期：2008年5月30日
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四、权责单位：
本规程的权责单位为浙江昱辉阳光能源有限公司硅单晶三厂技术部。
五、作业流程：
六、作业内容：
1、作业准备
⑴、进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
⑵、开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无异常后方能开炉。
⑶、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸
尘管、防尘口罩。
⑷、准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。
⑸、准备取单晶用的专用取棒车、装石墨件的不锈钢长条车、装埚底料的不锈钢筒和
装硅料的不锈钢小车，并处理干净。
⑹、用毛巾将炉体从上到下擦扫一遍，擦扫时注意不要将所有控制接线及开关碰断或
碰坏，并把炉子周围清扫干净。
2、取单晶和籽晶
⑴、点击【氩气】进入氩气控制菜单，在【MFC流量值】中分步递增到100.0SLM，
并先后点击【MFC】和【上炉体气阀】的【开启】按钮。炉体压力达到760Torr
后，先后点击【上炉体气阀】和【MFC】的【关闭】按钮。
浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号：Q02-09
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