T∕NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚.pdfVIP

ICS29.045

CCSL90

NXCL

宁夏材料研究学会团体标准

T/NXCL28—2024

半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

Syntheticquartzcrucibleforsemiconductorgrademonocrystallinesilicongrowth

2024-2-6发布2024-2-6实施

宁夏材料研究学会发布

T/NXCL28—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件由宁夏材料研究学会提出。

本文件由宁夏材料研究学会归口。

本文件起草单位：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁

夏大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏旭樱新能源科技有限公司。

本文件主要起草人：李长苏、熊欢、何玉鹏、陈荣贵、王建军、史海贝、闫素婷、陈金莲、马万保、

马荣天、王黎光、芮阳、李海波、盛旺、田宝春。

I

T/NXCL28—2024

半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

1范围

本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、

检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。

本文件适用于合成石英砂（成分：二氧化硅）为内层原料，采用电弧熔融法工艺生产，应用于直拉

法半导体级单晶硅生长的石英坩埚。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T2828.1—2012计数抽样检测程序第一部分：按接受质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计

划

GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法

JC/T2205石英玻璃术语

3术语和定义

JC/T2205界定的以及下列术语及定义适用于本文件。

白斑vaporspots

坩埚内壁本体的白色斑点，是粘附于坩埚内表面部分熔融的砂粉块或坩埚夹层未融化的石英砂。

透明层厚度bubbledepletionlayerthickness

透明的气泡耗尽层的厚度。

4规格尺寸

石英坩埚外形及表示

石英坩埚的外形示意图见图1。

1

T/NXCL28—2024

说明：

1——石英坩埚透明层；

2——石英坩埚不透明层；

d——石英坩埚外径；

h——石英坩埚高度；

r——石英坩埚弯弧半径；

R石英坩埚半径；

t₁石英坩埚直壁厚度；

t₂——石英坩埚弯弧厚度：

t₃——石英坩埚底部厚度。

图1石英坩埚的外形示意图

4.2石英坩埚规格

按石英坩埚外径不同分为三类：d≤610mm、610mmd≤710mm、d710mm。

具体尺寸由供需双方确定。

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