《GBT 4937.26-2023半导体器件 机械和气候试验方法 第26部分：静电放电（ESD）敏.pptx

《GB/T4937.26-2023半导体器件机械和气候试验方法第26部分：静电放电（ESD）敏感度测试人体模型（HBM）》必威体育精装版解读;目录;目录;目录;目录;目录;目录;PART;;PART;测试原理

人体模型(HBM)静电放电(ESD)测试模拟人体接触半导体器件时可能产生的静电放电情况，通过规定的电压和电流波形对器件进行冲击，以评估其对静电放电的敏感度。

测试方法

测试过程中，使用符合HBM标准的静电放电发生器，通过模拟人体电容和电阻网络向被测器件施加静电放电脉冲。测试参数包括放电电压、上升时间、放电时间等，这些参数需根据具体标准设定。

测试目的

HBM测试旨在评估半导体器件在静电放电环境下的可靠性，确保其在正常工作条件下不会因静电放电而损坏或性能退化。通过测试，可以筛选出对静电放电敏感的器件，为后续的改进和优化提供依据。;测试优势

HBM测试方法具有操作简便、成本低廉、可重复性好等优点。此外，由于人体模型与实际使用场景较为接近，因此测试结果具有较高的实用性和参考价值。通过HBM测试，可以较为准确地预测半导体器件在实际应用中的静电放电敏感度。;PART;背景介绍：;;;PART;;;PART;;参数失效

ESD引起的电压或电流变化超出器件设计范围，导致器件参数漂移，无法满足使用要求。;;;;;;PART;HBM测试方法的原理与步骤;快速上升时间;;;PART;优势：;;;测试环境限制;PART;;;;测试环境控制：;测试设备的选择与校准要求;;PART;;洁净度要求

保持实验区域清洁，避免尘埃和其他污染物附着于测试样品表面，影响测试结果的准确性。;测试环境的搭建与条件控制;测试环境的搭建与条件控制;测试环境的搭建与条件控制;;01;PART;样品选择;测试样品的准备与预处理方法;PART;;HBM测试流程详解;测试执行：;;;遵循安全操作规程;PART;测试数据的记录与分析技巧;标注异常值

对于测试中出现的异常值，需明确标注并说明原因，以便后续分析。;测试数据的记录与分析技巧;测试数据的记录与分析技巧;;故障模式与影响分析（FMEA）

结合测试结果和产品设计信息，分析潜在的失效模式和影响，提出改进措施。;;测试数据的记录与分析技巧;测试数据的记录与分析技巧;PART;ESD敏感度等级划分标准;ESD??感度等级划分标准;PART;敏感度等级划分

根据测试结果，将半导体器件的ESD敏感度划分为不同的等级，如Level1至Level4等，每个等级代表器件对ESD的不同耐受能力。等级划分依据是器件在特定ESD电压下是否发生功能失效或性能退化。

失效模式分析

对测试中出现的失效模式进行深入分析，如硬失效（器件直接损坏）和软失效（器件性能暂时或永久降低）。通过失效模式分析，可以了解器件的ESD失效机理，为改进设计和生产工艺提供依据。;;PART;测试中常见问题及解决方案;测试中常见问题及解决方案;;数据记录与分析不准确：;PART;;;接地系统构建：;定期检查与维护

对接地系统进行定期检查与维护，确保接地效果持续有效。;;;;;;PART;优势：;广泛应用;;测试标准不断更新;PART;与其他ESD测试方法的对比分析;测试结果互补性

尽管测试方法不同，但两种测试结果可相互补充，为全面评估半导体器件的ESD敏感性提供依据。;;与其他ESD测试方法的对比分析;;PART;;GB/T4937.26标准实施的产业影响;PART;企业如何应对新标准的挑战;加强质量控制和检测;PART;ESD测试在产品研发阶段的作用;;PART;;缩短复位线

复位线、恢复出厂信号线等尽量缩短，以减少ESD能量对元器件的冲击。;;;;;;PART;测试前的准备：;对测试样品进行初步检查，确保样品无损坏，且符合测试要求。;ESD测试中的安全操作规范;操作人员需熟悉测试设备的操作规程，避免因误操作导致设备损坏或人身伤害。;;ESD测试中的安全操作规范;;;PART;;半导体器件特性

了解不同类型半导体器件的结构、工作原理及静电敏感度特点。;测试人员技能培训与提升途径;测试人员技能培训与提升途径;;;;PART;实验室质量管理体系建设要点;实验室质量管理体系建设要点;PART;数据加密与存储;;PART;;;结论与建议

根据测试结果给出明确的结论，并提出改进建议。;测试报告的撰写规范与审核流程;;测试报告的撰写规范与审核流程;终审与签发;;PART;技术标准化与国际化推进

随着全球半导体产业的快速发展，HBM测试方法的标准将进一步完善和统一。国际标准化组织如IEC和ISO将继续在HBM测试标准的制定中发挥重要作用，推动测试方法的国际化和标准化进程。同时，各国也将加强在HBM测试领域的合作与交流，共同推动技术进步和产业发展。

测试设备与技术革新

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