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局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术
第1部分:SOI片工艺规范
目 次
前??言 II
引??言 III
范围 4
规范性引用文件 4
术语和定义 4
EFPI光纤超声传感器探头 6
工艺流程 8
工艺要求 9
其他要求 9
8检验 10
附
录
A
(资料性)强度解调型EFPI超声传感器工作原理 11
附
录
B
(资料性)局部放电EFPI超声传感器探头MEMS制造实例 14
I
引??言
局部放电(partialdischarge,PD)会产生电磁和声波信号,辐射光并会
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