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局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术
第2部分:残余应力测定与调控
目 次
前??言 II
引??言 III
范围 4
规范性引用文件 4
术语和定义 4
EFPI光纤超声传感器探头 6
残余应力的来源及分类 7
测定与调控的原理及方法 7
应力测定规范 8
应力调控规范 8
附录A(资料性)5μm厚度SOI片敏感结构残余应力的测定和控制实例 10
I
引??言
局部放电(partialdischarge,PD)会产生电磁和声波信号,辐射光并会造成绝缘材料的化学分解;这些物理和化学的效应可以通过各类诊断
企业信息管理师持证人
新能源集控中心项目 智慧电厂建设项目 智慧光伏 智慧水电 智慧燃机 智慧工地 智慧城市 数据中心 电力行业信息化
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