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摘要
随着热超声引线键合换能器的应用已由IC芯片细丝键合领域扩展到功率需
求更高的粗丝键合领域，传统的单支路换能器在新的工作场合下显得有些乏力。
因此本研究提出一种新型串联式复合结构高频超声换能器，围绕该换能器结构设
计、动力学优化、工作输出及动力学行为特性进行探究。主要研究工作内容如下：
（1）提出一种新型串联式复合结构高频超声换能器，基于机电等效电路，
结合压电方程、波动方程和牛顿力学定律等，分别建立了压电振子、圆柱变幅杆
和圆锥变幅杆的四端网络传递矩阵，并推导出相应各部分的频率方
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