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差栅光栅光场放大单场扫描式位移传感器设计.pdf

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    摘要

    本文设计了一种基于差分光栅光场放大单场扫描式位移测量技术，可用于

    纳米级位移测量。该技术利用两个周期略有不同的光栅（例如，分别为1.5μm

    和1.7μm）实现光场的显著放大，最大放大倍数可达7.8倍。提出光强位移检测

    和图像检测两种方案来测量两个光栅间的相对位移，分别以仿真验证光强位移

    检测模式和实验验证图像位移检测模式，分辨率分别达1.5nm和9.8nm。

    根据单层光栅泰伯效应原理，在第一个光栅(G)后面被平面波照射时，可

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