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1、洁净室与静电

(1)洁净室

半导体、平面液晶显示器、光电子和生物医药都需要洁净的生产车间，

通常洁净室是指空间空气悬浮粒子浓渡被控制在规定界限内的房间

或限定空间，这尘埃粒子的粒径越小和被限定的粒数越小，洁净度便

越高。

(2)洁净室的静电

由于洁净室的洁净度要求，室内使用

①大量的高绝缘介质装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作

台、椅子等等，这些材料摩擦容易起电带电，不易泄漏释放。

光刻间塑料地面500V~1000V，扩散间塑料地面500V~1500V，瓷砖

地面也有500V~1500V，塑料墙纸700V，塑料顶棚OV~1000V，金

属活动皮芏椅面500V~3000V。

②人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦

要产生静电，人、衣服、鞋都会带电。

人穿尼龙衣、着塑料胶底鞋缓慢地在清洁的地板上走动，人身上带

7000V-8000V静电压。在乙烯基地板上行走可带1200V

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(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)，在地毯上行走可带35000V

(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH)，晶片装配线，人穿的工

作服可达10KV。

③空调气流经过初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器，净化出口

气流是带静电的。

铝板送风口、回风口500~1000V。

④大量的绝缘器材、装备和工具，也是重要的静电电荷源。晶片装

配生产线：晶片装料盒35KV，有机玻璃盖8KV，石英制品

1.5KV，晶片托盘6KV，丙烯酸脂盖20KV，台桌面10KV，塑料存

贮柜30KV，玻璃纤维晶体载料盒滑过聚丙烯桌面带10KV。

总之：洁净室的洁净度要求越高，静电带电便越严重。

2洁净室静电的危害

(1)静电库仑力

吸上粉尘、污物带给无器件，增大泄漏或造成短路，使性能受损，成

品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径＞100m，铝线宽度约100pm，

M

氧化膜厚度在50pm时，最易使产品报废，现在线径更细，氧化膜很

薄，很小粒径尘粒子就会损害元器件，这种情形多发生在腐蚀清洗、

光刻、点焊和封装等工艺过程中。

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(2)静电放电ESD

①元器件的绝缘氧化膜被击穿，引线被烧断或线间融短。若人体带

上10KV（100PF）的静电荷，触摸器件脚时发生ESD，其向大地瞬

间形成脉冲放电电流峰值可达20A（10~100s），不要说高密度，细

线径，薄Sio2膜的Lsi、Vlsi、就是一般IC、MOS都会遭受损坏。

一般说器件绝缘栅Sio2薄膜的耐压场强是E=（5-10）x106V/cm，如

果器件Sio2膜厚度取1000，其器件输入脚施加50V-100V以上的静

电压就将会被击穿，而人带静电超过50V、100V是极平常的。

②造成噪声、发射电磁波干扰

ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当与电路中几伏

的能量，频率跨越几MH2甚几百MH2的强大噪声，可能引起元器件

损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。

ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入，或发生锁存现象。如