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基于双弹光差频调制的椭偏测量技术研究.pdf

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    摘要

    椭偏测量技术是一种测量薄膜样品物理特性的光学测量技术，通过分析偏振光

    在薄膜样品表面反射或者透射前后偏振态的变化，来确定薄膜的光学常数、厚度以

    及材料的结构。具有非真空测量、无损测量、测量精度高、测量周期短等优势，常

    用于半导体、微电子、生物与医药制造、光学镀膜等多个领域。目前，椭偏测量方

    法主要有机械旋转型和弹光调制型。机械旋转型依赖于电机转速导致其测量速度受

    限；弹光调制型可实现快速测量，并具备信噪比高、灵敏度高等测量优点。单弹光

    调制无法实现全范围的椭偏测量，双弹光差频调制具备单弹光调制的

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