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L波段多层低群时延MEMS滤波器设计与制备.pdf

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    摘要

    随着技术的不断演进，微机电系统（简称MEMS）滤波器的种类日益增多，其应用

    范围包括新一代通信、汽车电子、医疗设备以及工业自动化等多个领域。近年来，随着

    物联网和新一代通信技术的迅猛发展，对MEMS滤波器的需求激增，推动了该技术的

    LMEMS

    持续创新与进步。本文致力于探讨基于孔内壁溅射技术的波段多层

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