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采用高漫反射方腔增加光程的可调谐二极管激光痕量气体检测装置及方法--第1页

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN103389283A

(43)申请公布日2013.11.13

(21)申请号CN201310298203.9

(22)申请日2013.07.16

(71)申请人哈尔滨工业大学

地址150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

(72)发明人张治国虞佳高强李银杰张云刚

(74)专利代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所

代理人张利明

(51)Int.CI

G01N21/39

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

采用高漫反射方腔增加光程的可调

谐二极管激光痕量气体检测装置及方法

(57)摘要

采用高漫反射方腔增加光程的可调

谐二极管激光痕量气体检测装置及方法，

属于痕量气体浓度检测技术领域。本发明

解决在有限空间内增加气体吸收光程的方

法中存在的结构复杂且价格昂贵的问题。

装置包括二极管激光器和高漫反射方腔，

它还包括光电倍增管、锯齿波信号发生

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器、正弦波信号发生器、混频器、温度控

制器、电流控制器、数据采集卡、计算

机、高压电源、入射楔形石英透镜和出射

楔形石英透镜；方法为在计算机中将光电

倍增管输出的电信号解调为二次谐波信

号，得到待测气体浓度的光学参量OP，再

将该光学参量OP与待测气体光学参量随

高漫反射方腔内气体浓度变化的标准曲线

对比，获得待测气体浓度，实现待测气体

含量检测。本发明用于痕量气体检测。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

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权利要求说明书

1.一种采用高漫反射方腔增加光程的可调谐二极管激光痕量气体检测装置，它包括

二极管激光器（1）和高漫反射方腔（2），其特征在于，它还包

括光电倍增管（3）、锯齿波信号发生器（4）、正弦波信号发

生器（5）、混频器（6）、温度控制器（7）、电流控制器

（8）、数据采集卡（9）、计算机（10）、高压电源（11）、入射楔形石英透镜

（12）和出射楔形石英透镜（13），

高漫反射方腔（2）侧壁上设置进气口（2-1）和排气口（2-2），

锯齿波信号发生器（4）的锯齿波信号输出端连接混频器（6）的锯齿波信号输入端，

正弦波信号发生器（5）的正弦波信号输出端连接混频器（6）

的正弦波信号输入端，混频器（6