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摘要
微悬臂梁生化传感器是MEMS器件的典型代表，是一种基于原子力显微镜
的传感技术，通过检测微悬臂梁的挠度或者谐振频率的变化等信号，可以实时检
测悬臂梁表面的生化分子响应。该传感技术具有灵敏度高、无标记以及实时原位
检测等优点，在医学诊断、环境监测及生物工程等领域具有广泛应用前景。本文
针对生化分子检测的需求，提出了一种高灵敏度实时原位检测的微悬臂梁传感器
的设计方法，对其探测理论、仿真设计以及工艺制备等方面展开了系统的研究，
主要工作内容包括以下几个方面：
1、对微悬臂梁的动力学
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