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空气耦合式超声换能器的仿真与工艺设计.pdf

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    摘要

    空气耦合式超声换能器是空气耦合超声无损检测技术的核心器件，相比于传

    统的超声换能器具有完全无接触、无入侵、无损害、能实现快速在线扫查等优势。

    随着MEMS（微机电系统）技工技术的发展，使得空气耦合式超声换能器的研究

    成为近年来研究热点。

    本论文基于空气耦合式超声换能器理论和相控阵超声换能器声场理论，分别

    对空气耦合式压电超声换能器和CMUT两种超声换能器进行研究设计。首先对

    压电超声换能器进行了设计研究，通过限元分析软件COMSOL建模，探究压电

    超声换能器圆环结构的振动模

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