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LeicaEMACE600高真空镀膜仪简要操作规程

预约：

1.在大仪系统上预约该设备的使用机时，并按时刷卡登录上机，可以在本实验室

的公共电脑上提前期预约。

2.系统的中的类型：SEM镀膜请选择“SEM喷金（Au5nm）”，其他用途选择按

实际厚度收费，并根据自己的实验输入实际的镀膜厚度。

开机：

1.打开氩气气瓶阀：缓慢开启氩气钢瓶主阀门（逆时针转动），至高压指示出

瓶压读数，检查减压表读数在0.03-0.04MPa左右。

注意：Ar气钢瓶的减压阀已经调好，勿动！

2.打开氮气主阀：气路面板最下方黑色旋钮右起第二个（有镀膜仪标识），逆时

针拧90°至竖直。

3.打开镀膜仪背后左下方的电源开关。

镀Pt：

1.点击Sputtering下方的“Open”，进入镀Pt程序（Platinum）。

2.点击屏幕面板左上角的Vent，等待工作腔室的门可以打开后（真空读数达到

9.0E+2左右），将准备好的样品放在样品托上，关门。

注意：一定要戴手套拿取样品，避免污染真空样品腔！

钉台直接放入圆孔即可，日立的样品台只能放1inch和截面台。不能遮

盖样品台中心的圆片，否则测定膜厚功能无法使用。

2.点击下方的“Start”按钮，执行镀膜程序。

3.镀膜结束后，会弹出对话框并有滴滴声提示，点击对话框中右下角的“Close”。

4.等待腔门可以打开，取出样品，关门，点击Pump，关闭Ar气（只关主阀），

关闭氮气（黑色旋钮顺时针拧90°至水平）

5.待真空度达到9.0E-5mbar，关闭镀膜仪开关，刷卡下机，做好使用登记。

镀碳：

1.点击CarbonThread下方的“Open”，进入镀碳程序（CarbonthreadPulse

Double）；2.其余操作同上面镀Pt程序的步骤2-5。

注意：使用登记中要注意记录结束对话框中显示的unuse的值。