薄膜物理-(12)市赛课一等奖全省微课优质课特等奖PPT课件省名师优质课赛课获奖课件市赛课一等奖课件.pptVIP

第七章薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;1.无定形结构;薄膜结构与缺点;形成无定形薄膜工艺条件是降低吸附原子表面扩散速率;在10-2～10-3Pa氧分压中蒸发铝、镓、铟和锡等超导薄膜，

因为氧化层阻挡了晶粒生长而形成无定形薄膜;2.多晶结构;用真空蒸发或阴极溅射法制备薄膜，都是经过岛状结构生

长起来，必定产生许多晶粒间界形成多晶结构;讨论：晶界或晶粒间界所表现出两个特征：;多晶薄膜中晶界(晶粒间界)处原子扩散问题是薄膜物理研究

一个主要内容;3.纤维结构;在薄膜中晶粒择优取向可发生在薄膜生长各个阶段：;3.单晶结构;薄膜结构与缺点;二、薄膜晶体结构;因为晶格常数不匹配，在薄膜与基体界面处晶粒晶格发

生畸变形成一个新晶格，方便和基体匹配;假设基体表面上有一个半球形晶粒其半径为r，单位面积

表面张力为σ;EV：薄膜弹性系数

a：晶格常数;晶格常数改变比为;三、表面结构;因为吸附原子表面扩散，使薄膜表面上谷被填平，峰

被削平，造成薄膜表面积不停缩小，表面能逐步降低;在基体温度较低情况下，吸附原子在表面上横向运动能

量较小，薄膜表面面积随膜层厚度成线性增大。所得表面面

积较大，形成多孔结构薄膜，这种微孔内表面积很大，而且

可延续到最低层，形成柱状体结构;大多数蒸发薄膜有以下特点：;原子沉积过程可分为三个过程：;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;一、点缺点;2.薄膜中点缺点;在薄膜中点缺点约占百分之几个原子。在点缺点中数量最多

是原子空位;二、线缺点(位错);薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;位错是薄膜中最普遍存在缺点，其密度约为1012～1013/cm2;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;三、面缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜???构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点;薄膜结构与缺点