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摘要
硅光子集成电路是下一代光通信系统和数据中心光互连的最突出技术之一，
其本质是利用成熟的CMOS技术或与CMOS技术兼容的工艺来单片集成各种光
子器件。硅光子器件的单片集成具有占地面积小，与大规模电光集成兼容等优点，
为超大规模数据传输提供了高密度，高带宽光学连接的可行方案。硅基光收发芯
片是硅基光互连中的重要器件。本文主要对硅基光发射芯片进行研究，研究目的
是获得高传输效率、低插损、低功耗的硅基光发射芯片。本文主要工作内容如下：
1.研究了工作在O波段的用于完全垂直耦合的亚波
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