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摘要
超材料是具有特定电磁性能的人工和非天然电磁材料。由于太赫兹波对超材
料具有很强的电磁耦合效应，形成了电磁共振，因此太赫兹超材料被广泛用于制
造各种功能器件，特别是太赫兹超材料传感器。这是由于太赫兹波对非极性介质
的强透射和低光子能量的特性，在无损检测和传感领域具有重要的应用前景。然
而，目前太赫兹超材料传感器仍存在高导热系数、高成本和工艺复杂等问题。为
此，本文以电磁超材料为研究对象，从器件的结构出发，重点研究结构简单、品
质因子高的太赫兹超材料传感器，具体研究内容如下：
1.提出了
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