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LiCoO2薄膜的制备及固态薄膜电池的搭建

摘要

随着电子技术的发展，移动电话、笔记本计算机等需要的微型器件和系统也迫切需要适应它们的电源器件。固态薄膜锂电池作为一种微型电池，其厚度仅有微米级别，而且具有高能量密度、长循环寿命、高安全性以及结构灵活等优点，使其具有极高使用率，在微型器件与系统中有着广阔的应用空间。钴酸锂作为优秀的正极材料之一，也是薄膜电池正极材料在最佳选择,其制备是全固态薄膜电池的关键。本论文以钴酸锂（LiCoO2）薄膜正极为基础，较系统地研究了制备过程中影响钴酸锂正极薄膜性质的几种因素，并在此基础上制备了固态薄膜电池。

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