《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法》.docx

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江苏省市场监督管理局发布2024-XX-XX实施2024-XX-XX发布

江苏省市场监督管理局发布

2024-XX-XX实施

2024-XX-XX发布

微机电系统半导体气体传感器性能

检测方法

Testmethodofperformanceofmicro-electromechanicalsystems

semiconductorgassensor

（报批稿）

DB32/TXXXX—XXXX

DB32

江苏省地方标准

ICS31.080

L40

备案号：

DB32/TXXXX-XXXX

目次

TOC\o1-3\h\z\u前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4试验条件 1

5检测方法 2

6检测报告 5

附录A测试箱装置介绍与气体配置方法 7

参考文献 9

DB32/TXXXX-2016

II

DB32/TXXXX-XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由江苏省纳米技术标准化技术委员会提出、归口并组织实施。

本文件起草单位：苏州市计量测试院、苏州慧闻纳米科技有限公司。

本文件主要起草人：史苏娟、方丹、耿彦红、王瑞、董亮华、徐春、王震、孙旭辉。

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微机电系统半导体气体传感器性能检测方法

1范围

本文件规定了微机电系统半导体气体传感器性能检测的试验条件、检测方法及检测报告。

本文件适用于微机电系统半导体气体传感器的性能检测。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T7665-2005传感器通用术语

GB/T26111-2023微机电系统(MEMS)技术术语

GB/T34004-2017家用和小型餐饮厨房用燃气报警器及传感器

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

微机电系统micro-electromechanicalsystems；MEMS

基于微纳制造技术制备的功能结构、器件构成的系统。

[来源：GB/T26111-2023，3.1.1]

3.2

半导体气体传感器semiconductorgastransducer/sensor

利用半导体材料的电导率变化，将感受的气体转换成可用输出信号的传感器。包括表面电导式传感器和体电导式传感器。

[来源：GB/T7665-2005，3.3.1.1]

3.3

传感器检测装置sensortestmodule

用于将传感器特性转换为输出信号的测试装置。

[来源：GB/T34004-2017，3.5]

4试验条件

4.1环境条件

实验室内环境条件应符合以下要求：

a)环境温度：（15～35）℃，试验过程中温度波动不应超过±2℃；

b)相对湿度：（25～80）%，试验过程中湿度波动不应超过±5%RH；

c)大气压力：（86～116）kPa。

4.2试验设备

试验设备应符合以下要求：

a)秒表：分度值不大于0.1s；

b)功率计：功率（0~10）W，分辨力0.1mW，最大允许误差：±10%；

c)电压表：直流电压（0～50）V，准确度级别优于1.0级；

d)测试箱：测试箱内部结构及气体配置方法参照附录A。

4.3样品准备

4.3.1试验前通过目视、拍照等方法检查传感器表面，应无腐蚀、起泡现象，无明显划伤、裂痕、毛刺等机械损伤。

4.3.2试验前待试验的样品应在4.1规定的环境条件下通电预热后方可进行检测，预热时间以产品使用说明书为准。

4.3.3传感器送检时同时提供检测装置，在测试传感器信号输出时把传感器安装在该装置上进行试验。

4.3.4样品检测项目与样品编号对应表见表1。完成全部检测项目需要的样品数量为8只，试验前应对样品予以编号。具体样品数量根据检测项目与客户协商确定。

表1检测项目与样品编号对应表

序号

章条

检测项目

传感器编号

1

2

3

4

5

6

7

8

1

5.1

功率

√

√

—

—

—

—

—

—

2

5.2

传感器最低检测浓度

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