五道光罩制程课件1.pptxVIP

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?五道光罩制程介?五道光罩制程工流程?五道光罩制程与材料?五道光罩制程量控制?五道光罩制程安全与保?五道光罩制程用案例分析

01

五道光罩制程的定

五道光罩制程的特点0102

五道光罩制程的史与展

02

工流程概述

工流程解薄膜制光刻

工流程中的注意事

03

主要介24135

原材料的种与特性材料2材料4材料1材料3材料5

与原材料的保养材料存与保管安全操作程

04

量控制准与方法定位与尺寸精度控制采用高精度量器,如激光干涉、微等,五道光罩的定位和尺寸精度行格把控。定性通疲、境适性等手段,五道光罩的构定性行,确保其在不同境条件下能保持定的性能。

常及解决方法定位不准表面粗糙光学性能不佳形

量持改的建

05

安全操作程与急措施操作程

保要求与减排措施保要求减排措施

安全与保的持改建加培改工定期建立档案

06

用案例一:某公司五道光罩制程的化改描述某公司自身制程中的瓶,引入了五道光罩制程技化改。通工步的致分析,公司逐步改了制程参数和配置,最了生效率提高30%以上,成本降低20%,并且品量也得到了著提升。

用案例二描述

用案例三描述

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