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2024年分步重复光刻机项目建议书.docx

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    分步重复光刻机项目建议书

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    分步重复光刻机项目建议书

    目录

    TOC\h\z28740序言 3

    24927一、后期运营与管理 3

    22518(一)、分步重复光刻机项目运营管理机制 3

    29294(二)、人员培训与知识转移 4

    21629(三)、设备维护与保养 4

    21848(四)、定期检查与评估 5

    27488二、背景和必要性研究 6

    30317(一)、分步重复光刻机项目承办单位背景分析 6

    26887(二)、分步重复光刻机项目背景分析 7

    9318三、风险应对评估 8

    3441(一)、政策风险分析 8

    17

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