EDS元素分析报告.pdfVIP

EDS

合用标准文案

EDS元素解析

一、实验目的

1.认识能谱仪〔EDS〕的结构和工作原理。

2.掌握能谱仪〔EDS〕的解析方法、特点及应用。

二、实验原理

在现代的扫描电镜和透射电镜中，能谱仪〔EDS〕是一个重要的附件，它同主机共用一

套光学系统，可对资料中感兴趣部位的化学成分进行点解析、面解析、线解析。它的主要优

点有：〔1〕解析速度快，效率高，能同时对原子序数在11—92之间的所有元素〔甚至C、N、

O等超轻元素〕进行快速定性、定量解析；〔2〕牢固性好，重复性好；〔3〕能用于粗糙表面

的成分解析〔断口等〕；〔4〕能对资料中的成分偏析进行测量，等等。

〔一〕EDS的工作原理

探头接受特点X射线信号→把特点X射线光信号转变成拥有不同样高度的电脉冲信号→放

大器放大信号→多道脉冲解析器把代表不同样能量〔波长〕X射线的脉冲信号按高度编入不同样

频道→在荧光屏上显示谱线→利用计算机进行定性和定量计算。

〔二〕EDS的结构

1、探测头：把X射线光子信号变换成电脉冲信号，脉冲高度与X射线光子的能量成正比。

2、放大器：放大电脉冲信号。

3、多道脉冲高度解析器：把脉冲按高度不同样编入不同样频道，也就是说，把不同样的特点X射

线按能量不同样进行区分。

4、信号办理和显示系统：鉴别谱、定性、定量计算；记录解析结果。

〔三〕EDS的解析技术

1、定性解析：EDS的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。定性解析是解析未知样品的第一

步，即鉴别所含的元素。若是不能够正确地鉴别元素的种

类，最后定量解析的精度就毫没心义。

平时能够可靠地鉴别出一个样品的主要成分，但对于确定次要或微量元素，只有认真地办理

谱线搅乱、失真和每个元素的谱线系等问题，才能做到正确无误。定性解析又分为自动定性

解析和手动定性解析，其中自动定性解析是依照能量地址来确定峰位，直接单击“操作/定

性解析〞按钮，即可在谱的每个峰地址显示出相应的元素符号。自动定性解析鉴别速度快，

但由于谱峰重叠搅乱严重，会产生必然的误差。

2、定量解析：定量解析是经过X射线强度来获得组成样品资料的各种元素的浓度。依照实

际情况，人们追求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法，再把强度比经过定量修正换

算成浓度比。最广泛使用的一种定量修正技术是ZAF修正。

3、元素的面分布解析：在多数情况下是将电子束只打到试样的某一点上，获得这一点的X

射线谱和成分含量，称为点解析方法。在近代的新式SEM中，大多能够获得样品某一地域的

不同样成分别布状态，即：用扫描观察装置，使电子束在试样上做二维扫描，测量其特点X

射线的强度，使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极射线管CRT上显示出来，

就获得特点X射线强度的二维分布的像。这种解析方法称为元素的面分布解析方法，它是一

种测量元素二维分布特别方便的方法。

优秀文档

EDS

合用标准